日本島津氦質譜檢漏儀

日本島津氦質譜檢漏儀MSE-2401（干泵內置緊湊式）

采用非接觸式干泵為無塵室提供更優化的真空系統。

日本島津氦質譜檢漏儀基本檢測方法如下：

噴氦法，真空氦罩法，吸槍法，鋼瓶法，真空容器法，并列排氣法等。

檢漏儀：無論大漏還是小漏，它就是您的最佳解決方案。

不論多大或多小的泄漏都逃不過真空檢漏儀的檢測。不管是水、油、燃料、制冷劑、氣體、蒸汽、空氣或是真空的泄漏都能使用檢漏儀進行檢測。從微型電子裝置到體積龐大的容器，從真空系統逸出的介質到進入真空系統的氣體，檢漏儀所使用的范圍與普通工業產品的使用范圍一樣廣。

氦氣檢漏儀：安全、定量、可重復。

氦氣檢漏儀是在真空條件下對泄漏探測和密封性檢驗的理想解決方案。示蹤氣體氦氣是安全的、小而輕的分子，適合于探測小的泄漏。在真空檢驗情況下，氦氣的檢測范圍在 10-2 和 10-13 Pa · m3 /s 之間。氦氣檢漏儀的泄漏檢測是極精準、定量并且可重復的。節拍時間短也是一大優勢。

性能和規格

外形尺寸

應用領域

• 半導體和平板顯示器制造

• LED制造

• 鍍膜設備

• 制冷設備和空調的元件及部件

• 低溫壓力容器

• 閥門氣密性

• 檢漏航空部件，配件及系統