萊寶干式真空泵主要有下列幾種形式

　　萊寶干式真空泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。

　　干式真空泵最為明顯的能力就是不用水來做介質，與傳統的真空設備相比，它可以有效的節約水資源，減少企業的能源消耗，真正使企業的生產更加的環保，并且可以提升企業生產發展的能力。同時，在不斷發展的優勢實力下，干泵的性能已經充分體現出其自身的優勢，要加大對產品應用開發能力的重要性，針對企業生產的需要，加大對技術優勢能力的不斷帶動，提高產品生產能力的有效展現。

　　萊寶干式真空泵主要有下列幾種形式:

　　1、雙圓裂片式

　　雙圓裂片式設計和目前流行和廣泛應用的羅茨泵非常相似。事實上，一些最早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設計使得氣體通路相當復雜，并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時，為了達到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然，這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。

　　2、三葉圓裂片式

　　三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理完q相同，只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有著相同的優點和缺點。為了進一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達，但這也會導致扭矩減小，重新啟動的能力-下降。同雙圓裂片式設計一樣，三葉圓裂片式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。

　　3、組合式(羅茨+爪)

　　組合式(羅茨+爪)設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計完q相同。也有些廠家將其最后一級改為星型設計，這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。

　　4、外部壓縮型螺桿式

　　在外部壓縮型螺桿式設計中，使用一對等距螺桿。這使得內部壓縮減到最小，同時使得氣體通路最短也簡單。這樣，氣體在泵體內停留的時間也最短。雖然這種設計由于減少了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復雜的半導體工藝中表現出極的穩定性。這種單級設計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。

　　5、內部壓縮型螺桿式

　　除了使用一對非等距螺桿以外，內部壓縮型螺桿式設計和外部壓縮型螺桿式設計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內部產生壓縮。這種設計由于產生內部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當的水平。但在很多工藝中，這種內部壓縮同多級泵一樣，極易造成氣體在泵體內的物理化學變化而產生固化或液化。